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氣相沉積爐設(shè)備特點(diǎn)是什么
發(fā)布時間:2023-03-06   瀏覽:2216次

  氣相沉積爐設(shè)備特點(diǎn)是什么

  氣相沉積爐適用于化學(xué)氣相沉積法制備碳-碳復(fù)合材料,也可用于以碳?xì)錃怏w(如C3H8等)為碳源的材料表面或基體等溫CVD/CVI處理,或以三氯甲硅烷(MTS)為氣源的材材料料表面抗氧化涂層、基體改性等。

氣相沉積爐

  裝料方式有上裝料、底裝料、臥式三種裝料方式。該氣相沉積爐設(shè)備特點(diǎn)如下:

  1.多通道沉積氣路,流場均勻,無沉積死角,沉積效果好;

  2.采用先進(jìn)的控制技術(shù),能精密控制MTS的流量和壓力,爐膛內(nèi)沉積氣流穩(wěn)定,壓力波動范圍小;

  3.氣相沉積爐設(shè)備自動化高,關(guān)鍵執(zhí)行電氣件采用進(jìn)口;操作直觀、簡便,觸摸屏經(jīng)過開發(fā),可動態(tài)顯示爐子運(yùn)行狀況并具有自我診斷功能,程序段可直接輸入。

  4.采用特殊結(jié)構(gòu)沉積室,密封效果好,抗污染能力強(qiáng)。


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25 September 2023
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  真空燒結(jié)爐為什么會出現(xiàn)燒結(jié)溫度不穩(wěn)定  真空燒結(jié)爐出現(xiàn)燒結(jié)溫度不穩(wěn)定可能由以下原因造成:  1.控制系統(tǒng)故障:真空燒結(jié)爐的控制系統(tǒng)是控制燒結(jié)溫度和時間的關(guān)鍵設(shè)備,如果控制系統(tǒng)出現(xiàn)故障,就會導(dǎo)致燒結(jié)溫度不穩(wěn)定。可能的故障原因包括電源電壓不穩(wěn)定、系統(tǒng)程序出錯等?! ?.加熱元件老化:真空燒結(jié)爐的加熱元件是燒結(jié)溫度控制的關(guān)鍵部件,如果加熱元件老化,就會導(dǎo)致燒結(jié)溫度不穩(wěn)定。加熱元件老化的原因可能包括使用壽命到期、電源電壓不穩(wěn)定等?! ?.加熱區(qū)域不均勻:加熱區(qū)域不均勻可能導(dǎo)致燒結(jié)溫度不穩(wěn)定,影響產(chǎn)品質(zhì)量。加熱區(qū)域不均勻的原因可能包括加熱元件老化、加熱區(qū)域設(shè)計不合理等。  4.冷卻系統(tǒng)故障:真空燒結(jié)爐的冷卻系統(tǒng)是維持燒結(jié)溫度穩(wěn)定的重要部件之一,如果冷卻系統(tǒng)故障,就會導(dǎo)致燒結(jié)溫度不穩(wěn)定。可能的故障原因包括冷卻水流量不足、冷卻水溫度過高等?! ?.燒結(jié)室內(nèi)污染:在燒結(jié)過程中,可能會產(chǎn)生一些氣體或者雜質(zhì),如果這些氣體或者雜質(zhì)不能被及時排除,就會影響燒結(jié)溫度的穩(wěn)定性?! ∫虼?,為了保證真空燒結(jié)爐的正常運(yùn)行,需要定期檢查和維護(hù)設(shè)備,及時發(fā)現(xiàn)并排除燒結(jié)溫度不穩(wěn)定的原因。