氣相沉積爐的優(yōu)勢有哪些　　氣相沉積爐為沉積爐主體內(nèi)有加熱室，水冷電極，測溫?zé)犭娕?，是處理工件的核心部分。下面是關(guān)于爐子優(yōu)勢介紹?！　‰娮锠t可采用多溫區(qū)獨(dú)立控溫，溫度均勻性好；　　氣相沉積爐采用智能壓力調(diào)控，壓力波動(dòng)?。弧　∪忾]沉積室，密封效果好，抗污染能力強(qiáng)；　　多通道工藝氣路，流程均勻，無沉積死角，沉積效果好；　　多級(jí)尾氣處理系統(tǒng)，環(huán)境友好，能很快收集焦油及副產(chǎn)物，易清理；　　氣相沉積爐可選配外循環(huán)快冷系統(tǒng)，降溫時(shí)間短，生產(chǎn)效率高。

　　真空燒結(jié)爐使用時(shí)遇到這三種情況應(yīng)立刻采取應(yīng)急措施　　真空燒結(jié)爐主要用于半導(dǎo)體元器材及電力整流器材的燒結(jié)工藝，可進(jìn)行真空燒結(jié)，氣體保護(hù)燒結(jié)及慣例燒結(jié)，是半導(dǎo)體專用設(shè)備系列中一種新穎的工藝裝備，它規(guī)劃構(gòu)思新穎，操作便利，結(jié)構(gòu)緊湊，在一臺(tái)設(shè)備上可完結(jié)多個(gè)工藝流程。亦可用于其他領(lǐng)域內(nèi)的真空熱處理，真空釬焊等工藝。真空燒結(jié)爐使用時(shí)遇到這三種情況應(yīng)立刻采取應(yīng)急措施：　　一、停電　　1、停電時(shí)，假如斷水，應(yīng)立即接通備用的冷卻水，接通水源?！　?、假如在非升溫、加熱和冷卻時(shí)，能夠趕快康復(fù)時(shí)，重新啟動(dòng)設(shè)備，繼續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)如需求較長時(shí)刻，則將設(shè)備保持原狀?！　?、假如正在加熱和冷卻時(shí)，能夠趕快康復(fù)時(shí)，重新啟動(dòng)設(shè)備，假如需求較長時(shí)刻時(shí)，則保持原狀，讓設(shè)備自然冷卻下來?！　《?、加熱電源掉電　　1、水壓低，當(dāng)水壓低于0.15MPa，壓力表報(bào)警。　　2、接地毛病?！　?、真空放電，水冷電極接頭與加熱器銜接處必須銜接牢固，與反射屏絕緣要好。　　4、若爐內(nèi)壓力為13.3-66.5Pa時(shí)(此真空度容易發(fā)生放電)。電源呈現(xiàn)毛病，掉電的原因能夠以為因?yàn)殡娊橘|(zhì)擊穿而引起的放電。　　三、充氣氣體停止　　1、抽真空開端前，氣體充入時(shí)刻長或者無法充入時(shí)，請承認(rèn)氣體管路是否被堵塞?！　?、如氣體管路沒問題，檢查電磁閥及氣體充氣閥的動(dòng)作，為了安全與其相關(guān)聯(lián)的設(shè)備要悉數(shù)停止后再進(jìn)行檢查?！　?、向真空室內(nèi)充氣不能停止的情況下，泄壓閥動(dòng)作如泄壓閥動(dòng)作時(shí)，要封閉氣體供應(yīng)閥及配管在內(nèi)的一切氣體系統(tǒng)。　　4、承認(rèn)氣體充氣配管是否有漏氣的地方，如有會(huì)影響制品質(zhì)量。