真空燒結(jié)爐使用時(shí)遇到這三種情況應(yīng)立刻采取應(yīng)急措施
真空燒結(jié)爐使用時(shí)遇到這三種情況應(yīng)立刻采取應(yīng)急措施
真空燒結(jié)爐主要用于半導(dǎo)體元器材及電力整流器材的燒結(jié)工藝,可進(jìn)行真空燒結(jié),氣體保護(hù)燒結(jié)及慣例燒結(jié),是半導(dǎo)體專用設(shè)備系列中一種新穎的工藝裝備,它規(guī)劃構(gòu)思新穎,操作便利,結(jié)構(gòu)緊湊,在一臺(tái)設(shè)備上可完結(jié)多個(gè)工藝流程。亦可用于其他領(lǐng)域內(nèi)的真空熱處理,真空釬焊等工藝。真空燒結(jié)爐使用時(shí)遇到這三種情況應(yīng)立刻采取應(yīng)急措施:
一、停電
1、停電時(shí),假如斷水,應(yīng)立即接通備用的冷卻水,接通水源。
2、假如在非升溫、加熱和冷卻時(shí),能夠趕快康復(fù)時(shí),重新啟動(dòng)設(shè)備,繼續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)如需求較長時(shí)刻,則將設(shè)備保持原狀。
3、假如正在加熱和冷卻時(shí),能夠趕快康復(fù)時(shí),重新啟動(dòng)設(shè)備,假如需求較長時(shí)刻時(shí),則保持原狀,讓設(shè)備自然冷卻下來。
二、加熱電源掉電
1、水壓低,當(dāng)水壓低于0.15MPa,壓力表報(bào)警。
2、接地毛病。
3、真空放電,水冷電極接頭與加熱器銜接處必須銜接牢固,與反射屏絕緣要好。
4、若爐內(nèi)壓力為13.3-66.5Pa時(shí)(此真空度容易發(fā)生放電)。電源呈現(xiàn)毛病,掉電的原因能夠以為因?yàn)殡娊橘|(zhì)擊穿而引起的放電。
三、充氣氣體停止
1、抽真空開端前,氣體充入時(shí)刻長或者無法充入時(shí),請(qǐng)承認(rèn)氣體管路是否被堵塞。
2、如氣體管路沒問題,檢查電磁閥及氣體充氣閥的動(dòng)作,為了安全與其相關(guān)聯(lián)的設(shè)備要悉數(shù)停止后再進(jìn)行檢查。
3、向真空室內(nèi)充氣不能停止的情況下,泄壓閥動(dòng)作如泄壓閥動(dòng)作時(shí),要封閉氣體供應(yīng)閥及配管在內(nèi)的一切氣體系統(tǒng)。
4、承認(rèn)氣體充氣配管是否有漏氣的地方,如有會(huì)影響制品質(zhì)量。
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