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氣相沉積爐的優(yōu)勢(shì)有哪些
發(fā)布時(shí)間:2022-09-29   瀏覽:2567次

  氣相沉積爐的優(yōu)勢(shì)有哪些

  氣相沉積爐為沉積爐主體內(nèi)有加熱室,水冷電極,測(cè)溫?zé)犭娕?,是處理工件的核心部分。下面是關(guān)于爐子優(yōu)勢(shì)介紹。

  電阻爐可采用多溫區(qū)獨(dú)立控溫,溫度均勻性好;

氣相沉積爐(CVI-CVD沉積爐)

  氣相沉積爐采用智能壓力調(diào)控,壓力波動(dòng)??;

  全封閉沉積室,密封效果好,抗污染能力強(qiáng);

  多通道工藝氣路,流程均勻,無(wú)沉積死角,沉積效果好;

  多級(jí)尾氣處理系統(tǒng),環(huán)境友好,能很快收集焦油及副產(chǎn)物,易清理;

  氣相沉積爐可選配外循環(huán)快冷系統(tǒng),降溫時(shí)間短,生產(chǎn)效率高。

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