氣相沉積爐的優(yōu)勢(shì)有哪些
氣相沉積爐的優(yōu)勢(shì)有哪些
氣相沉積爐為沉積爐主體內(nèi)有加熱室,水冷電極,測(cè)溫?zé)犭娕?,是處理工件的核心部分。下面是關(guān)于爐子優(yōu)勢(shì)介紹。
電阻爐可采用多溫區(qū)獨(dú)立控溫,溫度均勻性好;
氣相沉積爐采用智能壓力調(diào)控,壓力波動(dòng)??;
全封閉沉積室,密封效果好,抗污染能力強(qiáng);
多通道工藝氣路,流程均勻,無(wú)沉積死角,沉積效果好;
多級(jí)尾氣處理系統(tǒng),環(huán)境友好,能很快收集焦油及副產(chǎn)物,易清理;
氣相沉積爐可選配外循環(huán)快冷系統(tǒng),降溫時(shí)間短,生產(chǎn)效率高。
免責(zé)聲明:本站部分圖片和文字來(lái)源于網(wǎng)絡(luò)收集整理,僅供學(xué)習(xí)交流,版權(quán)歸原作者所有,并不代表我站觀點(diǎn)。本站將不承擔(dān)任何法律責(zé)任,如果有侵犯到您的權(quán)利,請(qǐng)及時(shí)聯(lián)系我們刪除。
相關(guān)推薦