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CVD氣相沉積爐

產(chǎn)品特點(diǎn)
CVI/CVD設(shè)備是C/C復(fù)合材料行業(yè)的主要設(shè)備,設(shè)備通過熱解碳源氣體,而使預(yù)制體獲得致密處理或涂層處理,其中快速氣相沉積設(shè)備(CVI),具有更高的碳利用率,以及更高的生產(chǎn)效率。性能特點(diǎn)1.結(jié)構(gòu)形式:立式或臥式。2.沉積室構(gòu)成:C/C復(fù)合材料或石墨材料。3.進(jìn)口智能溫控儀表,可實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)跟蹤測溫。4.加熱方式:感應(yīng)或電阻加熱(石墨發(fā)熱體);電阻加熱方式可獲得更大的裝爐量;快速氣相沉積設(shè)備(CVI)具有更加靈活的配置和更高的效率。5.獨(dú)特的尾氣處理裝置,可實(shí)現(xiàn)長時間可靠運(yùn)行。6.配有水、電、氣綜合故障聲光報警裝置,配置結(jié)構(gòu)獨(dú)特、限值可調(diào)的安全閥,保證設(shè)備運(yùn)行平穩(wěn)、安全。性能參數(shù)型號CVICVD*高設(shè)計溫度1200℃1500℃常用溫度950~1100℃1050~1200℃滿功率升溫時間~1000℃≤3h~1000℃≤5h溫度均勻性(1000℃時)≤±10℃≤±10℃冷態(tài)空爐極限真空度≤10Pa≤10Pa壓升率≤5Pa/h≤5Pa/h控溫精度±1℃±1℃加熱電源1000~1500KVA350~800KVA連續(xù)運(yùn)行時間≥300小時≥300小時

產(chǎn)品概述

CVI/CVD設(shè)備是C/C復(fù)合材料行業(yè)的主要設(shè)備,設(shè)備通過熱解碳源氣體,而使預(yù)制體獲得致密處理或涂層處理,其中快速氣相沉積設(shè)備(CVI),具有更高的碳利用率,以及更高的生產(chǎn)效率。

性能特點(diǎn)

1.結(jié)構(gòu)形式:立式或臥式。

2.沉積室構(gòu)成:C/C復(fù)合材料或石墨材料。

3.進(jìn)口智能溫控儀表,可實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)跟蹤測溫。

4.加熱方式:感應(yīng)或電阻加熱(石墨發(fā)熱體);電阻加熱方式可獲得更大的裝爐量;快速氣相沉積設(shè)備(CVI)具有更加靈活的配置和更高的效率。

5.獨(dú)特的尾氣處理裝置,可實(shí)現(xiàn)長時間可靠運(yùn)行。

6.配有水、電、氣綜合故障聲光報警裝置,配置結(jié)構(gòu)獨(dú)特、限值可調(diào)的安全閥,保證設(shè)備運(yùn)行平穩(wěn)、安全。

性能參數(shù)

型號CVICVD
*高設(shè)計溫度1200℃1500℃
常用溫度950~1100℃1050~1200℃
滿功率升溫時間~1000℃≤3h~1000℃≤5h
溫度均勻性(1000℃時)≤±10℃≤±10℃
冷態(tài)空爐極限真空度≤10Pa≤10Pa
壓升率≤5Pa/h≤5Pa/h
控溫精度±1℃±1℃
加熱電源1000~1500KVA350~800KVA
連續(xù)運(yùn)行時間≥300小時≥300小時


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