真空燒結爐冷卻水異常怎么辦
真空燒結爐是可進行真空燒結的的工藝,是半導體專用設備中一種新穎的工藝裝備,可用于其他領域內(nèi)的真空熱處理工藝。當燒結爐出現(xiàn)冷卻水異常怎么辦?
發(fā)現(xiàn)工業(yè)爐出現(xiàn)異常時,要先確認加熱電源是否已經(jīng)停止。如果真空燒結爐爐外發(fā)生漏水,冷卻水量異常時,應立即采取一些應急措施。如能保證水量,繼續(xù)保持真空;如不能則保持原狀,確認設備冷卻下來。
如果冷卻水出現(xiàn)異常時,真空燒結爐處于停止狀態(tài),則立刻接通緊急用冷卻水。在保持高溫時,冷卻水就會停止,如果不能緊急送水,水冷電極、換熱器、真空室殼體及各泵極有可能會被損壞。
因此,在使用高溫熱處理爐、真空速凝爐等此類工業(yè)爐時,一定要注意冷卻水是否異常,要時常檢查設備,做好平日的維護,才能延長設備使用年限。
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