氣相沉積爐整體結(jié)構(gòu)采用井式碳化爐結(jié)構(gòu)。主要由爐體系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、進(jìn)氣系統(tǒng)、過濾系統(tǒng)、操作平臺等部分組成組成。 　　氣相沉積爐系統(tǒng)主要由爐蓋、爐體、爐底、保溫層、發(fā)熱體、引電體組成，爐殼為圓柱形結(jié)構(gòu)，分爐體和爐頂蓋、爐底三部分，主要使用Q235鋼材，爐體、爐蓋、爐底均為夾層水冷結(jié)構(gòu)，夾層內(nèi)設(shè)置蛇形導(dǎo)流板，既可以引導(dǎo)水流流向又可以加強爐體壁抗壓能力，爐體上設(shè)置電極座、測溫座。抽氣口位于爐頂蓋或爐體側(cè)壁上。 　　加熱及保溫層，發(fā)熱體采用帶式合金發(fā)熱體，分三個加熱區(qū)，三角形加熱，分布在爐腔四周;保溫層：采用全纖維爐襯復(fù)合保溫結(jié)構(gòu)，既可以讓爐膛整潔成型又可以保持良好的保溫性能，成型后的保溫層分別固定在爐壁、爐蓋上，操作與維護(hù)非常方便。 　　氣相沉積爐的爐膽采用高溫耐熱鋼，為保證高溫真空下的工作強度，采用雙真空結(jié)構(gòu)。爐膽內(nèi)外同時抽真空，并設(shè)置手動及自動壓差閥。考慮真空放電現(xiàn)象，采用低電壓大電流的供電方式。

　　真空燒結(jié)爐的熱處理技術(shù)都有哪些呢?目前八佳電氣總結(jié)了主要有以下五種。希望大家可以從中學(xué)到自己所需要的。 　　1、可控氣氛熱處理 　　可控氣氛熱處理主要是防氧化和脫碳,并對滲碳和滲氮做到*的控制。緊貼用戶要求,針對性推出各種價格適中、款式多樣、性能優(yōu)越的可控氣氛爐。大都能做到真空燒結(jié)爐工藝參數(shù)的優(yōu)化、預(yù)測和*控制碳濃度的分布,獲得理想的濃度分布和滲層組織;可實現(xiàn)計算機管理,具有簡單的菜單設(shè)計,友好的人機界面。 　　2、真空熱處理 　　真空熱處理技術(shù)應(yīng)用和發(fā)展得到進(jìn)一步的完善和推廣,它具有無氧化、無脫碳、淬火后工件表面清潔光亮、耐磨性高、無污染、自動化程度高等特點。工業(yè)生產(chǎn)中廣泛采用了真空退火爐,真空除氣,真空油淬,真空水淬,真空氣淬,真空回火及真空滲碳等熱處理技術(shù)。真空燒結(jié)爐的真空熱處理是熱處理車間*普及的*主要的技術(shù)之一。 　　3、感應(yīng)熱處理和離子氮化熱處理技術(shù) 　　真空燒結(jié)爐的感應(yīng)熱處理以***、節(jié)能、清潔、靈活性等優(yōu)勢廣泛應(yīng)用于汽車工業(yè),工程機械,石油化工等行業(yè),近40%的汽車零部件可采用感應(yīng)熱處理,如曲軸、齒輪、萬向節(jié)、半軸等。采用感應(yīng)加熱,許多產(chǎn)品加工可建成全自動或半自動生產(chǎn)線,提高產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定性,減輕勞動強度,美化工作環(huán)境。 　　4、淬火介質(zhì)與冷卻技術(shù) 　　理想的淬火介質(zhì)應(yīng)該有以下幾個特征:(1)質(zhì)量型:高溫階段快冷,低溫階段慢冷。即消除裂紋,減少淬火變形。(2)環(huán)保型:無有毒、有害煙塵或氣體的揮發(fā),不易燃燒,工件淬火后易清洗,對真空燒結(jié)爐設(shè)備無腐蝕,不刺激燒傷皮膚。(3)穩(wěn)定型:工件淬火后性能均勻穩(wěn)定,介質(zhì)本身在一定時期內(nèi)性能穩(wěn)定。(4)經(jīng)濟型:高質(zhì)優(yōu)價,能耗小。 　　5、采用新的表面強化技術(shù)和推廣氮基氣氛的熱處理 　　原有的工具表面處理方法***于蒸汽處理、氧氮化等陳舊方法,一般只能提高工具壽命30%~50%。氮基氣氛,用于保護(hù)熱處理和化學(xué)熱處理,可以實現(xiàn)無氧化脫碳熱處理,并可以避免熱處理氮脆,氮基氣氛的化學(xué)熱處理,可以減少真空速凝爐的內(nèi)氧化等缺陷,提高化學(xué)熱處理質(zhì)量。