氣相沉積爐設(shè)備組成
氣相沉積爐整體結(jié)構(gòu)采用井式碳化爐結(jié)構(gòu)。主要由爐體系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、進氣系統(tǒng)、過濾系統(tǒng)、操作平臺等部分組成組成。
氣相沉積爐系統(tǒng)主要由爐蓋、爐體、爐底、保溫層、發(fā)熱體、引電體組成,爐殼為圓柱形結(jié)構(gòu),分爐體和爐頂蓋、爐底三部分,主要使用Q235鋼材,爐體、爐蓋、爐底均為夾層水冷結(jié)構(gòu),夾層內(nèi)設(shè)置蛇形導(dǎo)流板,既可以引導(dǎo)水流流向又可以加強爐體壁抗壓能力,爐體上設(shè)置電極座、測溫座。抽氣口位于爐頂蓋或爐體側(cè)壁上。
加熱及保溫層,發(fā)熱體采用帶式合金發(fā)熱體,分三個加熱區(qū),三角形加熱,分布在爐腔四周;保溫層:采用全纖維爐襯復(fù)合保溫結(jié)構(gòu),既可以讓爐膛整潔成型又可以保持良好的保溫性能,成型后的保溫層分別固定在爐壁、爐蓋上,操作與維護非常方便。
氣相沉積爐的爐膽采用高溫耐熱鋼,為保證高溫真空下的工作強度,采用雙真空結(jié)構(gòu)。爐膽內(nèi)外同時抽真空,并設(shè)置手動及自動壓差閥??紤]真空放電現(xiàn)象,采用低電壓大電流的供電方式。
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