氣相沉積爐日常使用方法有哪些呢
氣相沉積爐日常使用方法有哪些呢
氣相沉積爐主要用于半導(dǎo)體元器件及電力整流裝置的燒結(jié)工藝,可進(jìn)行真空燒結(jié)、氣體保護(hù)燒結(jié)及常規(guī)燒結(jié),是半導(dǎo)體專(zhuān)用設(shè)備系列中新穎的技術(shù)裝備,設(shè)計(jì)思路新穎,操作方便,結(jié)構(gòu)緊湊,一臺(tái)設(shè)備即可完成多個(gè)工藝流程。也可用于其他領(lǐng)域的真空熱處理、真空釬焊等工藝,那么下面一起了解下?tīng)t子的使用必備技巧吧!
氣相沉積爐在抽真空后氫氣保護(hù)的情況下,利用中頻感應(yīng)加熱原理,使位于盤(pán)管內(nèi)的鎢坩堝達(dá)到高溫,通過(guò)熱輻射傳導(dǎo)到工作中,適用于科研、軍工部門(mén)對(duì)鎢、鉬及其合金粉末進(jìn)行成型燒結(jié)。安裝爐子的場(chǎng)地應(yīng)符合真空衛(wèi)生要求,周?chē)諝馇鍧嵏稍?,通風(fēng)條件好,工作場(chǎng)所不易揚(yáng)起灰塵等。它的日常使用方法:
1、檢查控制柜內(nèi)所有零部件及部件是否完好、完好。
2、控制柜安裝固定在相應(yīng)的基礎(chǔ)上。
3、查看接線圖,參考電路圖,連接外接主回路和控制回路,可靠接地,保證接線無(wú)誤。
4、檢查電器活動(dòng)部位活動(dòng)自如,無(wú)卡死現(xiàn)象。
5、絕緣電阻不應(yīng)小于2萬(wàn)億歐姆。
6、氣相沉積爐各閥門(mén)必須在關(guān)閉位置。
7、控制電源開(kāi)關(guān)置于斷開(kāi)位置。
8、手動(dòng)調(diào)壓旋鈕逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)頭。
9、將報(bào)警按鈕置于打開(kāi)位置。
10、平面圖完成設(shè)備循環(huán)冷卻水連接時(shí),建議用戶在氣相沉積爐總進(jìn)出水管處再加一層備用水(可用自來(lái)水),防止循環(huán)水故障或斷電引起密封圈燃燒。
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