使用氣相沉積爐時(shí)需要特別注意哪些事項(xiàng)
使用氣相沉積爐時(shí)需要特別注意哪些事項(xiàng)
使用氣相沉積爐時(shí)需要特別注意以下幾點(diǎn)。大家一起看看吧。
1、模具一般由用戶自備,模具材料基本采用高純石墨,其耐壓極限為40MPa。建議用戶在30MPa以下使用,加壓前計(jì)算模具上、下沖頭面積,換算成壓力。具體公式如下:系統(tǒng)允許加壓(噸)=上或下沖頭面積30MPa
2、熱電偶為鎢錸型,使用后變脆,不能接觸。破損時(shí)請立即更換。其型號為W2型。
3、冬季要注意氣相沉積爐循環(huán)水的保溫問題。否則容易發(fā)生自來水管破裂。
4、使用后爐體應(yīng)保持真空,爐內(nèi)保溫層容易受潮,保持真空下次抽真空會(huì)更快。
5、設(shè)備復(fù)雜,建議專人使用,專人負(fù)責(zé),嚴(yán)格對初學(xué)者進(jìn)行使用前培訓(xùn),有使用后檢查、操作使用記錄等設(shè)備使用規(guī)定。
6、氣相沉積爐也可作為真空燒結(jié)爐使用。用于真空燒結(jié)爐時(shí),請注意在爐內(nèi)放置坩堝后,合上保溫板蓋后,不要忘記合上其中的小蓋。容易燒毀電爐。
7、操作前觀察窗玻璃清潔,清掃爐內(nèi)壁,觀察水壓情況,觀察爐內(nèi)石墨有無損傷,開機(jī)后觀察儀表顯示是否正常,測試液壓系統(tǒng)是否正常工作。
8、氣相沉積爐使用一年后,應(yīng)將儀器送計(jì)量部門校準(zhǔn)。
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