真空速凝爐的應(yīng)急措施
真空速凝爐的應(yīng)急措施
真空速凝爐主要用于半導(dǎo)體元器件及電力整流器件的燒結(jié)工藝,可進(jìn)行真空燒結(jié),氣體保護(hù)燒結(jié)及常規(guī)燒結(jié),是半導(dǎo)體專用設(shè)備系列中一種新穎的工藝裝備,它設(shè)計(jì)構(gòu)思新穎,操作方便,結(jié)構(gòu)緊湊,在一臺(tái)設(shè)備上可完成多個(gè)工藝流程。亦可用于其他領(lǐng)域內(nèi)的真空熱處理,真空釬焊等工藝。下面,小編就為您介紹壓縮空氣的停止、停電、加熱電源掉電的應(yīng)急措施。
一、壓縮空氣的停止
1、壓縮空氣異常報(bào)警時(shí),真空速凝爐處于停止?fàn)顟B(tài),應(yīng)盡快到備用的壓縮機(jī)房,讓其恢復(fù)工作。
2、真空中如壓縮空氣異常報(bào)警,且恢復(fù)需要較長時(shí)間時(shí),則終止真空,讓設(shè)備停下來。
二、停電
1、停電時(shí),如果斷水,應(yīng)立即接通備用的冷卻水,接通水源。
2、如果在非升溫、加熱和冷卻時(shí),能夠盡快恢復(fù)時(shí),重新啟動(dòng)真空速凝爐,繼續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)如需要較長時(shí)間,則將設(shè)備保持原狀。
3、如果正在加熱和冷卻時(shí),能夠盡快恢復(fù)時(shí),重新啟動(dòng)設(shè)備,如果需要較長時(shí)間時(shí),則保持原狀,讓設(shè)備自然冷卻下來。
三、加熱電源掉電
1、水壓低,當(dāng)水壓低于0.15MPa,真空速凝爐的壓力表會(huì)報(bào)警。
2、接地故障。
3、真空放電,水冷電極接頭與加熱器連接處必須連接牢固,與反射屏絕緣要好。
4、若真空速凝爐爐內(nèi)壓力為13.3-66.5Pa時(shí)(此真空度容易發(fā)生放電)。電源出現(xiàn)故障,掉電的原因可以認(rèn)為由于電介質(zhì)擊穿而引起的放電。
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