淺談?wù)婵账t的2種抽真空方式
淺談?wù)婵账t的2種抽真空方式
真空甩帶爐是用來制備和開發(fā)亞穩(wěn)材料(如非晶態(tài)材料)的專用設(shè)備,該設(shè)備除了具有感應(yīng)爐的全部特點外,還具有制備塊體金屬非晶及金屬薄帶的功能,適用于各種非晶及微晶材料的研究及實驗工作,廣泛用于新型稀土永磁材料非晶軟磁材料及納米材料科學(xué)的開發(fā)與研究。
1)抽低真空:
a)將機械泵拉桿逆時針旋轉(zhuǎn)一下輕輕外拉至不能拉動再順時針旋轉(zhuǎn)一下鎖定;
b)等待真空甩帶爐的真空表指針為“-0.1”后按下ZDF-2F復(fù)合真空計左表頭的紅色按鈕,等待將腔內(nèi)真空抽至低于中間檔3Pa,同時繼續(xù)緊固腔門上的螺絲。(注意:若超過5分鐘未能將真空抽至低于3Pa,請將拉桿按a)步驟所示手法推進2分鐘后再拉出)
2)抽高真空:
a)當真空甩帶爐爐腔內(nèi)真空低于3Pa后,將機械泵拉桿推進并順時針旋轉(zhuǎn)鎖定;
b)將擴散泵閥門開關(guān)手柄逆時針旋轉(zhuǎn)180°至“開”;
c)當左表頭指針低于0.2Pa后,按下右表頭上的綠色按鈕,并按真空甩帶爐的復(fù)位按鈕一次運行高真空表;
d)根據(jù)真空熔煉爐情況依次更換量程,查看腔內(nèi)真空度。注意:在當前量程內(nèi),若指針高于“1”嚴禁更換到更小量程查看真空度
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