氣相沉積爐計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)使用說明
氣相沉積爐計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)要如何使用呢?今天,洛陽八佳電氣科技股份有限公司就來跟大家簡(jiǎn)單的說一說使用方法及注意事項(xiàng)。
首先,氣相沉積爐主體內(nèi)有加熱室,水冷電極,測(cè)溫?zé)犭娕?,這些都是處理工件的核心的部分。而為混氣罐,由1只電動(dòng)蝶閥、2只浮子流量計(jì)和4只不銹鋼手動(dòng)截止閥這三部分七小塊組成,負(fù)責(zé)氬氣和丙烷的混氣配比,以及向沉積爐內(nèi)定量輸送工作氣體。
其次,沉積爐還具有2臺(tái)滑閥泵,注意是負(fù)責(zé)氣相沉積爐內(nèi)的空氣及工作廢氣的排除等,這使得爐子可以工作在恒定的壓力范圍之內(nèi)。2臺(tái)過濾罐,主要是負(fù)責(zé)滑閥泵前級(jí)的粉塵排除。
另外,氣相沉積爐計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)還有3臺(tái)加熱磁性調(diào)壓器,他們獨(dú)立工作,完成爐溫的控制。
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